安徽天康擴散硅壓力變送器的主要作用及原理
更新時間:2015-09-09 點擊次數(shù):1676
一、
安徽天康擴散硅壓力變送器的主要作用:
安徽天康擴散硅壓力變送器的被測介質(zhì)的兩種壓力通入高、低兩壓力室,低壓室壓力采用大氣壓或真空,作用在δ元件(即敏感元件)的兩側(cè)隔離膜片上,通過隔離片和元件內(nèi)的填充液傳送到測量膜片兩側(cè)。壓力變送器是由測量膜片與兩側(cè)絕緣片上的電極各組成一個電容器。當(dāng)兩側(cè)壓力不一致時,致使測量膜片產(chǎn)生位移,其位移量和壓力差成正比,故兩側(cè)電容量就不等,通過振蕩和解調(diào)環(huán)節(jié),轉(zhuǎn)換成與壓力成正比的信號。
二、安徽天康擴散硅壓力變送器的工作原理:
壓力變送器的核心是一個擴散硅敏感元件,它是在硅基片上采用離子注入并經(jīng)激光修正制成惠斯登電橋,過程壓力作用于傳感器的隔離膜片上使膜片產(chǎn)生位移,通過膜盒內(nèi)的硅油壓力傳遞到硅基片上,同時參考端的壓力(大氣壓、絕壓或密封壓)作用于硅片的另一測,這樣在硅片的兩邊就加上了一個差壓,差壓在硅片上產(chǎn)生了一個應(yīng)力場,使惠斯登電橋的四支電阻,有兩支因拉伸而阻值變小,另外兩支因壓縮而阻值變大,變化量為ΔR,橋臂阻值的變化使電橋失去平衡這樣就產(chǎn)生了一個與壓力成正比的電壓輸出信號。